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半导体/微电子
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沉积薄膜（金属、有机物）的台阶高度,抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度,蚀刻速率测定,化学机械抛光（腐蚀，凹陷，弯曲）
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太阳能
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太阳能涂层薄膜测量，太阳能电池-栅线高度和宽度的测量，聚光太阳能电池芯片测量等
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AMOLED,液晶屏研发的台阶步级高度测量,触控面板薄膜厚度测量
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表面高度、表面粗糙度测量。
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新型材料科研
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如材料基因，三元纳米多层膜成分分布分析。
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